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定制一套极限真空度可达8*10-5 Pa的真空腔室，为超高温热台和纳米压痕仪提供高真空低氧分环境。

2  技术指标与要求

a.真空性能：真空度极限≤8*10-5 Pa，漏率≤1×10-9 Pa•m3/s。

b.整体结构：真空室外部采用方形腔体设计，内部有效尺寸(不包含内部连接附件)≥700 mm（长）×700 mm（宽）×700 mm（高）。腔体底部设有专用法兰接口，可与光学隔振台密封连接。腔体正面设全开式大门，便于内部与超高温热台和纳米压痕仪的集成操作。腔体顶部与正面各设一个石英观察窗，观察窗直径≥300 mm。

c.主要组成：真空腔室及其台架、真空泵组及其控制器、光学隔振台及其连接组件、法兰组件等。

d.内部集成布局：真空腔室内部为超高温热台与纳米压痕仪预留的安装区域净尺寸≥500 mm（长）×500 mm（宽）×500 mm（高），以确保两台设备可同时放置于腔内并正常工作。腔体内部与光学隔振台连接的面包板应预留M6螺纹安装孔，孔距按50 mm×50 mm等常见标准规格布置，覆盖整个可用安装区域。最终布局方案需经双方确认后实施。

e.接口布局：真空室腔壁预留各类真空法兰接口≥10个，其中包括：CF16≥2个，CF35≥4个，CF100≥4个，接口布局应兼顾功能分区与操作便利性，避免不同类型接口相互干扰。

f.其他：配置手动放气阀一个。